XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

檢測對象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

檢測濃度

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

檢測原理

熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體制造

01.產(chǎn)品特點(diǎn)

●  小型·輕量

●  可以檢查非常微量的氣體泄漏

●  適合氫氣相關(guān)設(shè)備的保安

●  搭載的泵有自動(dòng)停止功能

●  搭載[自動(dòng)氣體排氣模式]功能

●  保護(hù)等級約為IP22（JIS C  0920）※安裝皮套時(shí)

02.產(chǎn)品用途

●  半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等

●  在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測

03.產(chǎn)品參數(shù)

※1.根據(jù)不同環(huán)境條件、使用條件、保存期限、電池廠家，有時(shí)會(huì)有不同。

※2.安裝皮套時(shí)。
※3.所謂相當(dāng)于IP22是指：對于手指接近設(shè)備內(nèi)部的危險(xiǎn)位置的保護(hù)結(jié)構(gòu)（IP2X）、以及外部對垂直15度以內(nèi)傾斜時(shí)，在4個(gè)位置各2.5分（合計(jì)10分）垂直落下的水滴不會(huì)給機(jī)器內(nèi)部造成有害影響的結(jié)構(gòu)。

XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀

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